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無塵車間資訊

簡析東莞無塵車間工程靜電的要點【東鑫凈化】

文章出處 : http://bponw.cn/ 作者 : 東鑫凈化 人氣 : 267 發表時間:

在無塵車間里,防靜電與除塵其實是相輔相成的,因為靜電的主要來源就是粉塵,粉塵減少了,也就很大程度上降低了靜電的產生。那么,你知道東莞無塵車間工程靜電的要點嗎?

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1)確定靜電控制級別

2)盡量減少靜電荷的產生

3)泄放和中和的辦法加速靜電荷消散,防止靜電積累

4)保護產品不受ESD的損壞

2、確定靜電控制的級別

1)元器件、組件和設備靜電敏感度分級

1級:易遭受0-1999V靜電電壓損壞的

2級:易遭受2000-3999V靜電電壓損壞的

3級:易遭受4000-5999V靜電電壓損壞的

而敏感靜電壓大于16000V的,便不必采取防靜電措施。

2)靜電防護工作區的分級

A級:允許對地靜電電位不超過±100V

B級:允許對地靜電電位不超過±1000V

實際工程中是分靜電電位不超過100V500V1000V等對應元器件、組件和設備靜電敏感電壓的3級。

3、盡量減小靜電荷的產生

這是控制靜電三步曲的第一步,在這凈化工作環境中,最好的措施:

1)盡量采用性質相似器材,減少在接觸摩擦分離過程中產生靜電電荷;

2)盡量采用導靜電型或靜電耗散型材料的器材,減少接觸摩擦分離過程產生積累靜電荷;

3)盡量采用減少接觸摩擦分離而產生靜電荷的生產流程。

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4、泄放和中和

這是控制靜電三步曲的第二步,在微電子生產的凈化室中最通常的措施是接地,采用導電性或耗散性材料泄放靜電荷,以及離子化消電器中和靜電荷。

1)接地

東莞潔凈車間應設一個獨立靜電接地系統(包括地面接地金屬網支系統、生產線工作站接地支系統),以便室內所有設備金屬外殼、移動設備的金屬支架、防靜電器材等安全、有效地將靜電荷泄放至大地。工作人員的帶電則通過手腕帶接地,以及通過防靜電鞋或腳跟帶再經防靜電地面向大地泄放。地面、墻面、頂棚、隔斷等是硬接地,設備外殼、移動設備(車、椅、貨架等)、工作臺等則屬軟接地。

2)離子化肖電器

東莞潔凈車間中生產組裝的元器件、PCB,生產線、工作站上總是難免存在一些不能接地的絕緣導體和絕緣介質材料(例如大多數普通塑料)。在某些環境下,離子化消電器常用來局部消散這些物體上的靜電荷,而更經常的是借助于空氣離子化來中和在絕緣介質上和孤立導體上的所帶靜電電荷。

3)導靜電和靜電耗散材料

導靜電材料和靜電耗散材料由于其具有導靜電性,也是很好的靜電荷泄放材料,而且比金屬導體泄放更具有安全性,通常被采用做地板、墻面、工作臺、周轉容器、鑷子、刷子等防靜電器材。


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